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建物衛生管理

関連法規/基準項目および基準値

清掃区域の清掃度測定

米国航空宇宙局NASA規格(NHB5340.2)

バイオクリーンルーム清浄度クラス 微粒子 微生物
粒径 μ 累積粒子数 個/ft3(個/L) 浮遊菌 個/ft3(個/L) 落下菌 個/ft2-week(個/m2)
100 ≥0.5 ≥100(≥3.5) ≥0.1(0.0035) 1,200(12.900)
10,000 ≥0.5 ≥10,000(≥350) ≥0.5(9.9176) 6,000(64.600)
≥5.0 ≥65(≥2.3)
100,000 ≥0.5 ≥100,000(≥3,500) ≥2.5(0.0884) 30,000(323.000)
≥5.0 ≥700(≥25)

クリーンルームの空気清浄度の評価方法 (JIS B 9920)

清浄度クラス(N) 上限濃度(個/m3)
測定粒径
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
クラス1 10(101) 2 - - - -
クラス2 100(102) 24 10 4 - -
クラス3 1,000 (103) 237 102 35 8 -
クラス4 10,000(104) 2,370 1,020 352 83 -
クラス5 100,000(105) 23,700 10,200 3,520 832 29
クラス6 - 237,000 102,000 35,200 83,200 2,930
クラス7 - - - 352,000 83,200 2,930
クラス8 - - - 3,520,000 832,000 29,300
クラス9 - - - 35,200,000 8,320,000 293,000

米国連邦規格(FED-STD-209D)

クリーンルームクラス 微粒子 圧力 温度 湿度 気流/
換気回数
照度 lux
粒径 μ 累積粒子数個/ft3 mmAq 範囲
推奨値
誤差
最高 % 最低
%
誤差
100 ≥0.5 ≥100 1.25以上 19.4 ~ 25 22.2 ±2.8 特別には ±0.28 45 30 ±10特別には±5 層流方式 0.45m/s ±0.1m/s
乱流方式
≥20回/時
1,080 ~ 1,620
1,000 ≥0.5 ≥1,000
≥5.0 ≥7
10,000 ≥0.5 ≥10,000
≥5.0 ≥65
100,000 ≥0.5 ≥100,000
≥5.0 ≥700
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