関連法規/基準項目および基準値

米国航空宇宙局NASA規格(NHB5340.2)

バイオクリーンルーム清浄度クラス微粒子微生物
粒径 µ累積粒子数 個/ft3(個/L)浮遊菌 個/ft3(個/L)落下菌 個/ft2-week(個/m2)
100≥0.5≥100(≥3.5)≥0.1(0.0035)1,200(12.900)
10,000≥0.5≥10,000(≥350)≥0.5(9.9176)6,000(64.600)
≥5.0≥65(≥2.3)
100,000≥0.5≥100,000(≥3,500)≥2.5(0.0884)30,000(323.000)
≥5.0≥700(≥25)

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クリーンルームの空気清浄度の評価方法 (JIS B 9920)

清浄度クラス(N)上限濃度(個/m3)
測定粒径
0.1µm0.2µm0.3µm0.5µm1µm5µm
クラス
1
10 (101)2
クラス
2
100 (102)24104
クラス
3
1,000 (103)23710235
クラス
4
10,000 (104)2,3701,02035283 
クラス
5
100,000 (105)23,70010,2003,52083229
クラス
6
237,000102,00035,20083,2002,930
クラス
7
352,00083,2002,930
クラス
8
3,520,000832,00029,300
クラス
9
35,200,0008,320,000293,000

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米国連邦規格(FED-STD-209D)

クリーンルームクラス微粒子圧力温度湿度気流/換気回数照度 lux
粒径 µ 累積粒子数個/ft3 mmAq 範囲°C推奨値 °C 誤差 °C最高 % 最低% 誤差 °C
100≥0.5 ≥100 1.25以上19.4 ~ 2522.2±2.8 特別には ±0.28 4530±10特別には±5層流方式 0.45m/s ±0.1m/s 乱流方式 ≥20回/時1,080 ~ 1,620
1,000 ≥0.5 ≥5.0 ≥1,000 ≥7
10,000≥0.5 ≥5.0≥10,000 ≥65
100,000 ≥0.5 ≥5.0 ≥100,000 ≥700

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